구미 LG공장에서 또다시 불산 누출
2일 오후 불산 혼합액 30~60리터 누출, 인명피해는 없어
지난해 불산누출사고가 났던 구미에서 또다시 불산이 혼합된 용액이 흘러나와 작업 중이던 작업자들이 대피하는 사고가 발생했다.
구미경찰서에 따르면 지난 2일 오후 8시 34분경 반도체 웨이퍼 제조업체인 LG실트론 구미2공장에서 웨이퍼 제조 후공정 중 하나인 에칭(Etching)공정에 사용 중인 혼산이 용기 덮개에서의 이상으로 흘러나왔다.
혼산은 질산 43wt%, 불산 9.8wt%, 초산 19.6wt%가 혼합된 용액으로 2일 오전 혼산을 필터링하는 필터 하우징 커버에 미세한 균열이 발생해 교체한 후 오후 6시에서 6시 30분 사이 테스트하는 과정에서 혼산 30~60리터가 누출됐다.
당시 사고 현장에는 11명의 작업자가 있었으나 사고발생 직후 관련 공정을 전면 차단하고 즉시 대피시키고 오후 8시 40분부터 3일 오전 4시 40분까지 방제작업을 벌였다.
방제작업은 중화제를 이용해 중화시킨 후 흡착포 등을 이용해 흡착해 제거했으며 인명피해는 일어나지 않은 것으로 알려졌다.
하지만 LG실트론은 사고가 발생한 이후 15시간 이상을 신고하지 않고 회사 내에서 자체로 사고처리를 한 것으로 알려져 비난을 사고 있다.
구미경찰서에 따르면 지난 2일 오후 8시 34분경 반도체 웨이퍼 제조업체인 LG실트론 구미2공장에서 웨이퍼 제조 후공정 중 하나인 에칭(Etching)공정에 사용 중인 혼산이 용기 덮개에서의 이상으로 흘러나왔다.
혼산은 질산 43wt%, 불산 9.8wt%, 초산 19.6wt%가 혼합된 용액으로 2일 오전 혼산을 필터링하는 필터 하우징 커버에 미세한 균열이 발생해 교체한 후 오후 6시에서 6시 30분 사이 테스트하는 과정에서 혼산 30~60리터가 누출됐다.
당시 사고 현장에는 11명의 작업자가 있었으나 사고발생 직후 관련 공정을 전면 차단하고 즉시 대피시키고 오후 8시 40분부터 3일 오전 4시 40분까지 방제작업을 벌였다.
방제작업은 중화제를 이용해 중화시킨 후 흡착포 등을 이용해 흡착해 제거했으며 인명피해는 일어나지 않은 것으로 알려졌다.
하지만 LG실트론은 사고가 발생한 이후 15시간 이상을 신고하지 않고 회사 내에서 자체로 사고처리를 한 것으로 알려져 비난을 사고 있다.
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