어플라이드 머트리얼사가 삼성전자에 반도체 장비를 납품하면서 함께 제공한 VSPI(Visual Spare Part Identification) CD. 이 안에는 해당 장비의 사양 뿐만 아니라 장비를 구성하고 있는 부품까지 모두 포함되어 있습니다. ⓒ이봉렬 2023.04.04