(왼쪽위) 구불구불한 형태 전극과 직선 형태 전극의 변형 시 응력 분포 분석. 해당 이미지는 시뮬레이션을 통해 구현됨. (왼쪽 아래) 구불구불한 형태 전극의 변형에 따른 응력(파란선)과 직선 형태 전극의 응력(붉은 선) 분석. (오른쪽위) 탐침의 변형 시 사진 이미지. (오른쪽아래) 탐침의 변형 시 주사전자현미경 이미지.